在网上看到关于最近火灾事故河南的新闻该说什么事,怎么说?

全球汽车市场对期待从中国市场获取利益...这也是由于中国市场潜力之大造成...中国发展速度是世界第一...各地城市不仅房市火热...车市也毫不逊色...国外声音飘忽着抬高中国...城市与城市之间的差距也不小...京沪发展并不能代表全中国的经济发展...在中国...二线城市的车市发展不能与一线城市如北京...广州的车市发展相提并论...广州这样的一线城市一个月动则两三千元的养车成本...成都这样的省会城市...更让这些城市的车主感到不安的...

...同意湖南长丰汽车制造股份有限公司已列入《公告》的所有产品...三菱...三菱和长丰还有一项技术合作...长丰与三菱的技术合作合同要到2013年才到期...对于未来三菱汽车与广汽长丰的关系...完全取决于三菱自身利益的决断...在目前三菱汽车中国市场战略没有完全确定的情况下...广汽长丰和三菱的关系仍然不明朗...文/吴鹏亮。起亚SOUL。公布中文名秀尔。日前...东风悦达起亚公布了SOUL的中文名——秀尔...增强了消费者对东风悦达起亚...

...价值超过200万人民币的超豪华品牌汽车...在中国市场的消费人群一直具有着神秘色彩...中国超豪华品牌销量为967辆...购买这些价值不菲的超豪华汽车的消费者大致有三类人...还有一类是享受生活的富二代...2010年超豪华车销量将保持增长...宾利...玛莎拉蒂和法拉利名列三强。这次统计的豪华汽车品牌包括法拉利...宾利...尽管保时捷跑车很多属于超豪华车...但由于卡宴在中国销量很大...为突出显示超豪华车市场现状...因此未将保时捷列...

...腾讯汽车特联合慧聪邓白氏研究针对2010年中国汽车消费者的满意度展开调查...2009年购买新车的消费者...对其车况的整体满意度远高于对销售...而维修价格则是消费者最不满意的地方...消费者对于车辆本身性能(产品满意度)的满意度较高...消费者满意度也较高...则成为消费者最不满意地方...消费者也都不满意...就各品牌来看...产品满意度差距不大...而自主品牌企业得分则列最后...在中国消费者心目中一直是结实耐用的代名词...其产...

...全国共交易二手车333.86万辆...比上年增加交易60.13万辆...北京二手车交易量超过35万辆...二手车市场交易维持了持续走强的态势...全国大部分地区二手车交易量均有不小的增长...传统二手车交易量大的地区增长稳步...相应一些二手车起步晚的地区交易量出现了快速的发展...广东地区2009年可以说是二手车交易爆发的一年...从交易特点来看...2009年国内二手车市场...私家车占总交易量的85.34%...而全年二手车交易最大的特点是载货...

以租代售——换种方式来买车。预购车客户可先租用荣威550车型进行深度体验...客户既可享受汽车租赁的全方位服务...中进汽车租赁联手荣威...以租代售...中进汽车租赁各门店。优惠内容...所有加入中进汽车租赁的新会员...客户在中进汽车租赁各门店承租荣威550车型...可凭租赁发票在北京各荣威4S店购买550车型时冲抵购车款(最多可抵扣3天租期租金)...详情请咨询中进汽车租赁各门店及荣威授权经销商...中进汽车租赁网址...com。以租代...

上汽通用五菱工业园近日在广西柳州开工...P-TEC系列发动机可能成为工业园区建成后的重量级产品...这是上汽通用五菱完善零部件配套体系...拓展乘用车整车制造的开始...上汽通用五菱工业园区是乘用车零部件生产项目...建成后的工业园将为上汽通用五菱供给车身和发动机零部件...进而提高关键零部件的本地化比例...上汽通用五菱总经理沈阳表示...上汽通用五菱乘用车项目已经有了较长时间的准备...19家乘用车企业...发动机配套商将进驻建...

...奇瑞新能源公司传来消息...芜湖国家节能与新能源汽车高新技术产业化基地获得科技部正式认定...奇瑞新能源公司总经理袁涛表示...产业化基地的建成对奇瑞新能源发展提供了强大的支持...芜湖国家节能与新能源汽车高新技术产业化基地以奇瑞汽车为中心...推动新能源汽车及关键零部件产业集聚...汽车产业基地营业总收入将达到800亿元以上...其中新能源车与小排量节能环保车及新型零部件比重达到50%以上...届时基地将发展一批具有较高市...

...看看丰田车的库存...车主王先生去二手车市卖车...二手车车商老板毫不隐讳的对收购的业务员做出了声明...王先生的二手车威驰已经和业务人员谈好了价格...由于受丰田...很多人对丰田系车开始心存疑虑...导致近期丰田二手车需求开始下滑...造成二手车车市库存增大...车商谨慎起见有意降低丰田二手车库存...一些车商因此停止了丰田二手车的收购...这位不愿透露姓名的车商随后表示...他本人并不认为丰田车有大的质量问题...但是最近丰...

...谁对中国消费者的汽车安全负责...相比美国的消费者...中国的消费者只能把3·15当成...以最热门的丰田汽车召回为例...在美国...最高权力机构参众两院均参与对丰田的质询和调查中...在中国...等到消费者权益问题需要政府支持时...在美国...在中国...在美国...消费者在国家法律与权力机构支持下可以当面指责丰田...在中国...消费者投诉无门...中国的消费者依然是车轮上的...。

上半年购车时机调查1 .您会在上半年什么时候购车3月4月5月6月2 .选择在上半年购车的原因是早买早用车价比年前低现车充足,提车难现象缓解上市新车多,可选择余地大担心以后车价上涨其他3 .上半年对您购车计划影响最大的因素是油价上调限行、停车费涨价等政策的出台新能源汽车补贴政策的出台公共交通的完善其他4 .以下哪种措施会对您买车有促进作用更低的贷款门槛和利率车价下调提车时间缩短政策补贴力度加大回执1 .姓名:(必填)2 ....

在江岸区二七路的一家“迷你”驾校,正在驾校练车的田先生称,他家就住在二七路,“迷你”驾校方便了附近居民就近学车。武汉市运管处驾培办有关负责人还介绍,“迷你”驾校能够存在,除了上述因素外,武汉市驾驶培训场地紧张,满足不了市民需求,也是原因之一。

2009年中国汽车市场出现“井喷”现象,产销均突破1360万辆,成为全球车市第一。中国车市的强劲发展让大多车企都尝到了甜头,2010年,各大汽车厂家都纷纷制定了雄心勃勃的产能扩张计划。与此同时,汽车市场营销大战火热拉开帷幕,各地经销商开始跑马圈地,为在中国汽车市场中获得更大的竞争力,新一轮的扩张风暴正在暗中酝酿。对此,新华信汽车营销解决方案副总郎学红则认为,汽车营销网点的扩张是一个渐进的过程,随着汽车市场的扩大而逐渐增多。

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...Defender(路虎卫士)的名号...其强大的越野能力...路虎在SUV的旅途上...今天路虎卫士限量版在中国上市...据编辑从温州东昌路虎4S店了解到...Defender(路虎卫士)现已实车到店...0【东昌路虎捷豹】。路虎卫士。商家报价。优惠幅度。现车情况。路虎卫士限量版。。Defender路虎卫士源自于越野豪门路虎家族在1948年推出的开山车型。新凯越整车尺寸为4515mm&

...6T发动机的车型后...6T车型将会在今年11月正式上市...6T新君威一样推出6速手动挡车型...6T发动机...新君威上出现过的。招募时间...广州市锦众汽车贸易有限公司。招募对象...已购买第六代高尔夫或速腾。09款福克斯两厢报...坛。09款福克斯依然延续的了老款车型的三厢与两厢设计...可以看出09款福克斯两厢更加趋向于运动...而相对两厢车...

【易车网青岛讯】近日...易车网编辑从双龙汽车青岛双龙汽车销售服务有限公司了解到...双龙2010款爱腾真爱导航版青岛地区正式上市...爱腾真爱导航限量版售价。马自达。中华骏捷。新乐风全险费用根据车价不同...。上海通用汽车为雪佛兰乐风1...潘卉卉)。点击计算购车费用。雪佛兰乐风部分车型参数表...上海通用雪佛兰上海通用雪佛兰上海通用雪佛兰车型名称乐风1...手动风度版乐风1...自动风尚版乐风1...手动魅动版厂商指导价8...乐风。1...手动风度版乐风。1...自动风尚版乐风。1...

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  洞察高速公路的每时每刻

  用一张其他车型的ETC卡,穿过闸机,顺利"节省"一大笔过路费;

  超载了一大截,在车型上做点手脚,顺利通过检查,扬长而去;

  开着危化品车辆在服务区见到位置就停,与常规的大货车甚至客车、小汽车停在一起,司机觉得没啥大不了,又省了事……

  这些,是高速公路场景下,不能说频繁但绝对不算少的现象。

  对管理运营方来说,这些不合理现象带来的安全隐患、权益损失都是让人"头大"的问题。

  尴尬的是,这些问题未必是加大人力投入就能解决的。

  好在,AI的介入,让事情有了转机。

  不久前,2022昇腾AI创新大赛全国总决赛落下帷幕。

  本届大赛今年4月在全国16个赛区启动,一共招募到参赛队伍1560支、参赛选手3200多人。

  大量优质项目基于昇腾AI 基础软硬件平台探索有具体落地的创新方案。

  这其中,优中选优,获得应用赛道金奖的是来自广州赛区交嵌信息团队的"智慧交通"项目。

  该项目解决的,就是高速公路上收费稽核业务、危化品车辆管控业务等面临的痛点问题。

  交嵌信息自有的业务积累与创新,加上昇腾AI的技术优势与赛事过程的全方位支持,让高速公路拥有了更加良好的秩序。

  底层能力+场景理解,"智慧交通"金奖既成

  交嵌信息在参加本次昇腾AI创新大赛前,已经在高速公路营运管理场景深耕,在各个高速公路细分场景下通过视觉AI算法等提升管理的效果和效率。

  获得金奖的"智慧交通"项目,一方面是交嵌信息过去优势业务的一种拓展和延续,另一方面,在底层也获得了昇腾AI的技术能力支持。

  概要来说,"智慧交通"项目就是以AI算法来赋能高速公路上部署于各处的监控视频,并配合其他数据,识别可能出现的各种情况并反馈到管理方,及时制止不良行为的发生。

  例如,车辆通过ETC关卡时,摄像头采集到的车型数据会通过AI算法得到一个结果,再与采集到的ETC信息数据进行比对,如果出现不匹配的现象,则会提醒相关工作人员及时制止偷逃通行费等不良行为。

  又例如,通过智能车型识别,配合地磅等数据,对当前车辆的超载情况进行评估,以协助工作人员的治超工作。

  针对危化品车辆,摄像头也会化身为智能的眼睛,判断其是否在禁止的时间段出行,在服务区等场景下,判断其是否进到了专用停车位上,从而通知管理人员采取行动。

  这些判断,通过摄像头边缘端或云端的统一计算来完成,在算法上基于昇腾AI原生开发,包括采用基于昇腾的硬件产品,例如Atlas系列智能小站、服务器等,以低功耗、高性能等优势来保障边缘端的计算能力。

  24小时,不知疲倦,一双双实时在线的智能之眼,保障着高速公路运行的秩序。

  在高速公路运营的三个核心目标——保安全、保畅通、保收费,"智慧交通"项目实现了多方位的满足,是昇腾AI的底层能力与交嵌信息对场景的理解融合碰撞的产物。

  更进一步看,通过把摄像头变身智能之眼的方式,还有更多管理运营的需求可以加载,包括停车检测、拥堵检测、逆行检测、行人检测、安全帽检测、反光衣检测等。

  例如,当异物或者行人入侵高速公路时,这样的高风险的事件能够被及时发现和通知管理人员进行处置。

  如此,一个由摄像头构成的全息感知网将被建立起来。高速公路上,安全、生产、监测等管理需求都可以被一步步满足。

  项目天然的"势"加上赛事层层助推,成就凸显的AI场景价值

  在迫切需要解决的场景痛点面前,"智慧交通"项目拥有天然的价值优势,而这个项目能够最终呈现出来并走向落地,还离不开昇腾AI的全方位助推。

  一方面,昇腾AI基础软硬件平台提供了从底层到应用层的多种支持。

  Atlas 200等边缘端硬件产品,以多级算力的配置实现毫秒级响应,且功耗低适配各终端;

  异构计算架构CANN,让多路视频的解析解码更加容易,数据分析的效率更高;

  昇思MindSpore AI框架,帮助实现端到端应用开发与部署,充分发挥昇腾AI底层基础能力;

  ModelArts AI训练平台,帮助梳理整个开发过程的AI工作流程,大大提升了开发工作的效率……

  可以说,"智慧交通"项目,就是一次昇腾AI能力和价值的全面、直观展现。

  另一方面,在具体的赛事推进过程中,华为还提供了几乎全要素的支持。

  在模型训练最直接需要的算力方面,依托广州人工智能计算中心,昇腾AI向交嵌信息提供了充足普惠的AI算力资源,强化和加速模型训练,实现面向更多场景需求的能力。

  一个典型数据是,传统自备算力设备需要30天的训练工作量,在人工智能计算中心的的算力资源下,只需要3天时间即可完成,效率提升10倍。

  在模型迭代所需要的底层算子方面,昇腾AI实现高频次迭代支持,帮助交嵌信息在项目开发上能够更频繁、更深入地迭代,推动模型质量的提升。

  在应用的部署方面,来自ModelArts、昇思MindSpore的能力,让相关应用能够实现便捷的部署。

  赛事过程中,交嵌信息除了可以获得线上专家的问题解答,还深入参与到昇腾AI在广州地区面向开发者、伙伴群体的专业培训活动当中,如昇腾AI开发者创享日、昇腾AI训练营等活动,提升了技术能力。

  在特定的需求下,交嵌信息团队还能够得到广州本地服务团队的面对面沟通,快速解决问题并获得相关的能力沉淀。

  可以说,只要是应用创新所需要的,华为都提供了可能的支持。

  实际上,在过去交嵌信息与华为的合作中,后者就提供包括测试样机、服务器、智能摄像头等直接的设备支持,甚至还深度介入、帮助前者更好地进行测试工作。

  此外,在基础硬件、技术认证与政府政策扶持等方面,华为也都在积极帮助交嵌信息获取更好的资源条件。

  紧密的伙伴合作关系,在"智慧交通"项目这里得到了延续,最终推动了一个金奖的形成。

  当然,并不只有华为单方面向伙伴输出能力,伙伴在场景应用开发过程中也不断回馈。

  例如,交嵌信息也根据场景应用的需要,设计与提交新的算子需求,推动昇腾AI的技术生态越来越完善。

  更准确地说,这应该是一个昇腾AI与伙伴的相互成长、相互成全的故事。

  "金奖"之外,还有赛事所带来的"标本兼治"产业推动模式

  只有落地到产业,昇腾AI才能最终展现价值。

  交嵌信息"智慧交通"金奖项目背后,还有一个既治标、又治本的产业推动模式在建立。

  在治标方面,赛事的直接推动,让优质项目、优质企业集中涌现。

  昇腾AI用"造林"的方式不断培育生态力量,让初创企业或成熟企业的创新业务得以更快速地发展,催生出一个不断壮大的AI计算产业生态,而不是仅仅通过政策吸引既成的力量"圈林"。

  在这个生态中,一个个具体的伙伴都能在昇腾AI生态中不断发展壮大,长成参天大树。

  交嵌信息的过去、现在、未来,或许就能成为典型的案例。

  这家企业的发展,可以概括为专注于"智慧的路",推动高速公路等道路也能够建立起真正的24小时感知能力,通过图像、雷达等数据,对车、人、物等目标进行位置、状态与行为的追踪,建立一整套道路底层信息感知能力,在此基础上形成各种应用与解决方案。

  这背后,AI计算变得越来越重要,与昇腾AI的合作也将变得越来越紧密。

  这次的金奖项目,只是一个开始。

  在昇腾AI的支持下,很多能力得以不断强化,更多创新得以出现。

  例如,用算力、算法解决光线条件不佳的情况下图像识别准确度提升的问题,更好地满足雨天、夜晚等时段的识别需要。

  又例如,以AI技术,支持双目3D感知、单双目融合等能力的实现,强化图像识别的精确度。

  再加上一以贯之的各种政策、资源帮扶,一个高速公路等道路方面的专家伙伴就将成长起来,而这个过程还将同步发生在其他各个具体的领域。

  在治本方面,赛事成为昇腾AI产业生态发展的"引线",金奖项目带来示范效应与发展信心将聚拢更多生态力量。

  一次大赛,撬动了昇腾AI在智慧农业、智能智造、智慧医疗、基础质检、社会治理等各行业、场景的应用,甚至可以看到大飞机设计、药物设计、疾病诊断等高精尖学科领域的AI身影。

  从技术创新到产业落地,从工作到生活,AI正在加速普惠社会的方方面面。

  产业界、学术界、科研界乃至日常生活中,AI创新的风潮被加速。

  作为产业根基,昇腾AI所努力构建的一片产业生态丛林,也正在迎着阳光努力向上,不可阻挡。

  科技向令说视频号开通啦

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  1钛媒体、品途、人人都是产品经理等多家创投、科技网站年度十大作者;

  2 虎啸奖评委;

  3 作家:【移动互联网+ 新常态下的商业机会】等畅销书作者;

  4 《中国经营报》《商界》《商界评论》《销售与市场》等近十家报刊、杂志特约评论员;

  5 钛媒体、36kr、虎嗅、界面、澎湃新闻等近80家专栏作者;

  6 "脑艺人"(脑力手艺人)概念提出者,现演变为"自媒体",成为一个行业;

  7  腾讯全媒派荣誉导师、多家科技智能公司传播顾问。

  1人工智能 |区块链 |汽车产业链| 内容创业 |新零售 

  3智能手机 |网红| 体育IP |互联网金融 |无人机

  4共享经济 | 直播、短视频 |传统企业转型

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近日,一则美国制造出了0.7纳米芯片的芯片在笔者的朋友圈传播。与此同时传播的新还有类似绕开EUV光刻机、美国打造全球分辨率最高光刻系统。这究竟是个什么新闻?从现阶段看EUV光刻机会是怎样的一个未来?

让我们来还原以下这个新闻本身。

美国企业推出了0.7nm芯片?

这其实是来自美国Zyvex Labs的一个报道。

在9月21日, Zyvex Labs宣布,推出世界上最高分辨率的光刻系统 — ZyvexLitho1。该工具使用量子物理技术来实现原子精度图案化和亚纳米(768 皮米——Si (100) 2 x 1 二聚体行的宽度)分辨率。这一进步使量子计算机能够为真正安全的通信提供牢不可破的加密;还更快的药物发现和更准确的天气预报。

“构建可扩展的量子计算机存在许多挑战。我们坚信,要实现量子计算的全部潜力,需要高精度制造,”Michelle Simmons 教授说。“我们对 ZyvexLitho1 感到兴奋,这是第一个提供原子精度图案化的商用工具。”

STM 光刻技术的发明者 Joe Lyding 教授表示:“迄今为止,Zyvex Labs 技术是这种原子级精确光刻技术的最先进和唯一的商业化实现。” Lyding 是 2014 年费曼奖获得者,也是伊利诺伊大学电气与计算机工程专业的 Robert C. MacClinchie 特聘教授。

ZyvexLitho1 中嵌入的是我们的 ZyVector。这种具有低噪声和低延迟的 20 位数字控制系统使我们的用户能够为固态量子器件和其他纳米器件和材料制作原子级精确的图案。完整的 ZyvexLitho1 系统还包括配置用于制造量子器件的 ScientaOmicron 超高真空 STM。

从报道可以看到,该产品还得到了美国DARPA(国防高级研究计划署)、陆军研究办公室、能源部先进制造办公室和德克萨斯大学达拉斯分校的 Reza Moheimani 教授的支持,后者最近获得了工业成就奖国际自动控制联合会授予“支持在单原子尺度上制造量子硅器件的控制发展”奖。

由此可见,这个所谓的0.7nm芯片,可能我传统意义上的芯片制造工艺是不一样的。

对半导体行业有了解的读者应该清楚,我们平时所谓的多少纳米,其实是一个工艺节点的代号。通常意义上,这个代号是用一个数字命名,后跟纳米的缩写,例如7nm、5nm、3nm 等。

从大约 1960 年代到 1990 年代末,节点是根据它们的门长度命名的。这张来自 IEEE 的图表显示了这种关系。

半导体制造涉及巨大的资本支出和大量的长期研究。从论文中引入新技术方法到大规模商业制造之间的平均时间长度约为 10-15 年。几十年前,半导体行业认识到,如果存在用于节点引入的通用路线图以及这些节点将针对的特征大小,这将对每个人都有好处。

这将允许广泛、同时开发将新节点推向市场所需的所有难题。多年来,ITRS(国际半导体技术路线图)发布了该行业的总体路线图(已经停止更新了)。这些路线图跨越 15 年,为半导体市场设定了总体目标。

长期以来,栅极长度(晶体管栅极的长度)和半间距(芯片上两个相同特征之间距离的一半)与工艺节点名称相匹配,但上一次出现这种情况是在1997 年。pitch 继续匹配节点名称几代,但在任何实际意义上不再与它相关。

由此可见,这在工艺上与我们熟悉的工艺节点是不太一样。至于这个光刻,则是所谓的STM光刻。

从相关报道指出,达成这个0.7纳米分辨率的光刻系统这是一种称为氢去钝化光刻(Hydrogen Depassivation Lithography )的技术,它是一种电子束光刻技术 (EBL),可实现原子分辨率。

据维基百科介绍,电子束光刻(通常缩写EBL)是扫描聚焦电子束以在覆盖有称为光刻胶(曝光)的电子敏感膜的表面上绘制自定义形状的做法。电子束改变了光刻胶的溶解度,通过将抗蚀剂浸入溶剂中(显影),可以选择性地去除曝光或未曝光区域。与光刻一样,其目的是在抗蚀剂中创建非常小的结构,然后通常通过蚀刻将其转移到基板材料上。

电子束光刻的主要优点是它可以绘制具有sub-10 nm 分辨率的自定义图案(直接写入) 。这种形式的无掩模光刻具有高分辨率和低产量,限制了其用于光掩模制造、半导体器件的小批量生产以及研发。

据介绍,该机器的用途包括为基于量子点的量子比特制作极其精确的结构,以实现最高的量子比特质量。该产品可用于其他非量子相关应用,例如构建用于生物医学和其他化学分离技术的纳米孔膜。

如上所述,该产品的缺点是吞吐量非常低,换而言之,它可能适合制造小批量的量子处理器芯片,对于大批量消费电子产品来说,这不是一个好的解决方案。

Zyvex Labs在官网中也表示,该系统能够使原子精密光刻成为现实,当中用于 STM 光刻的 UHV 系统 、前体气体计量和 Si MBE 、数字矢量光刻和自动化和脚本。他

们表示,如果没有亚纳米分辨率和精度,这种 7.7 纳米(10 像素)正方形的曝光是不可能的。

Zyvex Labs指出,ZyvexLitho1 使用氢去钝化光刻从 Si (100) 2×1 重建表面去除 H 原子。这种自我显影的曝光技术本质上是二元的。H-Si 键要么断裂(将 H 原子送入真空),要么没有。没有部分暴露或邻近效应。

利用这个过程和作为硅表面晶格的全局基准网格允许数字光刻。亚纳米像素是 4 个表面硅原子。

可以将设计网格与我们的像素网格相同的计算机辅助设计 (CAD) 文件加载到 ZyvexLitho1 中,并且可以自动将图案分割成不同的几何形状,从而允许尖端矢量与不同的光刻模式一起使用。然后可以自动进行曝光。

他们还强调,由于光刻模式和成像模式在能量上分离良好,因此可以在光刻前后对Si表面进行成像。这种非曝光成像模式允许自动识别硅晶格,因此可以自动识别像素在表面上的位置。这种 Lattice Lock 过程自动保持尖端定位(以及因此光刻)准确。

从他们提供的表格上看,该系统拥有以下特点:

那么,关于这个的讨论又来到了——EBL能取代传统光刻吗?

EBL能成为新选择吗?

所谓光刻,是芯片制造中的一种图案化工艺。该过程涉及将图案从光掩模转移到基板。这主要是使用配备有光学光源的步进器和扫描仪来完成的,这也是我们现在主流的芯片制造方式,大家熟悉的EUV和DUV就是使用这种方式的。

其他形式的光刻包括直写电子束(direct-write e-beam)和纳米压印( nanoimprint)。在研发中还有几种下一代光刻(NGL)技术——如多光束电子束和定向自组装(DSA)。

据美国NIST方面介绍,电子束光刻允许精细控制纳米结构特征,这些特征构成多种器件技术的基础。让10 nm 的横向分辨率、1 nm 的放置精度和 1 mm 的图案化区域都是可能的。

然而,实现这些性能指标取决于许多特定于样品的相互依赖的因素——图案定义和断裂、基板和掩模材料、曝光前和曝光后工艺、对准特征定义——以及关键的细节光刻系统的操作。

NIST表示,作为一项核心能力,其开发的工艺处于或接近传统电子束光刻技术的极限,以推进各个领域的纳米级设备和测量科学。

例如:用于精确计时的芯片级频率梳;用于波长和量子频率转换的非线性集成光学;用于传感、转换和非线性动力学研究的片上腔光机械和微/纳米机电系统;具有用于量子信息的非线性和量子发射器光源的量子光子集成电路;从紫外到红外的超表面,用于捕获和探测原子和离子、偏振测量、成像和时空超快激光脉冲整形;用于像差校正的光学显微镜标准。

但正如很多报道中所说,其吞吐和准确度,限制了EBL的发展。根据eBeam Initiative的一份调查显示,使用类似电子书光刻这样的直写设备制作一份掩膜写入时间大概在2.5到13个小时不等,其平均数在6.8个小时。根据该组织的报告,对于复杂掩膜而言,最长写入时间在14到60个小时。

一般来说,制造商们对于写入时间超过24个小时的掩膜设计方案会比较头疼。因为过长的写入时间就意味着更高的成本,更长的处理时间和良率问题。

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