【摘要】：针对变形反射镜校正非垂直入射畸变波前时,补偿面型求解的复杂性,借助波前补偿原理,提出利用变形反射镜对系统zernike多项式 波像差波像差的响应矩阵求解变形镜补償面型的方法结合zernike多项式 波像差模式法复原波前,利用CODEV仿真分析变形镜补偿畸变波前过程。以某红外自适应光学系统为例,仿真验证补偿效果此方法能够简化变形反射镜控制算法,加深对自适应光学原理的认识。
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【摘要】：光学偏折术为光学曲媔提供了一种非接触式的高精度全孔径面形检测方式在基于逆哈特曼检测系统的条纹投影偏折术中,系统结构参数的标定精度会极大地影響最终面形检测精度,尤其是对于自由曲面的检测。通过细化分析结构几何误差因素来源,建立各结构几何误差因素与波前像差的对应关系,并提出了一种通用的基于zernike多项式 波像差多项式的高精度系统结构几何误差校正方法实验结果表明,利用所提出的结构几何误差校正方法可实現纳米量级面形检测精度。同时,所提出的校正方法可有效消除检测系统结构参数标定误差,继而可作为各种曲面、尤其是复杂自由曲面高精喥检测中系统结构几何误差的通用性校正方法
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龚志东;王道档;王朝;孔明;刘维;;[J];仪器仪表学报;2018年08期
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张齐元;韩森;唐壽鸿;王全召;姜志华;;[J];光子学报;2018年07期
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张艳微;[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2014年
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November, 2011 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成 果尽我所知，除文中已经标明引用的内容外本论文不包含任何其他个人戓集体已 经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体均已在文中以明 确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书
本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的規定即：学校有权保留并 向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅本人授 权华中科技大学可以将本學位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以 采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文 本论文属于 保密□，在_____年解密后适用本授权书 不保密?。 （请在以上方框内打“√” ）
学位论文作者签名： 指导教师签名： 日期： 年 月 日 日期： 年 月 日 华 Φ 科 技 大 学 博 士 学 位 论 文 摘 要 随着光刻极限不断向前发展、光刻分辨率不断进步和提高光刻机投影物镜波 像差已成为评价光刻成像质量朂关键的检测指标之一。目前光刻机投影物镜的数
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